測頭可分為接觸式測頭和非接觸式測頭（激光等類型）。

　　目前主要用接觸式測頭，接觸式測頭又可分為開關式（觸發式或動態發訊式）與掃描式（比例式或靜態發訊式）兩大類

　　開關測頭的實質是零位發訊開關，以TP6（RENISHAW）為例，它相當于三對觸點串聯在電路中，當測頭產生任一方向的位移時，均使任一觸點離開，電路斷開即可發訊計數。開關式結構簡單，壽命長（106~107）、具有較好的測量重復性（0.35~0.28μm），而且成本低廉，測量迅速，因而得到較為廣泛的應用。

　　掃描式測頭實質上相當于X、Y、Z個方向皆為差動電感測微儀，X、Y、Z三個方向的運動是靠三個方向的平行片簧支撐，是無間隙轉動，測頭的偏移量由線性電感器測出。掃描式測頭主要用來對復雜的曲線曲面實現測量。

　　非接觸測頭主要分為激光掃描測頭和視頻測頭兩種。

　　激光掃描測頭主要用于實現較軟材料或一些特征表面進行非接觸測量。測頭在距離檢測工件一定距離（比如50mm），在其聚焦點!5mm范圍內進行測量，采點速率在200點/秒以上。通過對大量采集數據的平均處理功能而獲得較高的精度。

　　視頻測頭進一步提高了測量機的應用，使得許多過去采用非接觸測量無法完成的任務得以完成。一些諸如印刷線路板、觸發器、墊片或直徑小于0.1mm的孔可采用視頻測頭進行測量。操作者可將檢測工件表面放大50倍以上，采用標準的或可變換的鏡頭實現對細小工件的測量。